CD-SEM FEG Source

瞬景科技量产的肖特基场发射电子源，专为半导体临界尺寸扫描电子显微镜（CD-SEM）设计。产品兼容日立CG系列、AMAT 6i/7i/G7系列、科磊EDR系列等主流量检测设备机型，出厂前已完成精密预对中，可快速部署、稳定运行。经多家客户实际装机验证，其电子束亮度与稳定性均已达到进口同类产品水准，是半导体产线设备备件国产化的可靠选择。