Pole piece

用于聚焦离子束系统T制样提取样品

FIB出现打火问题的原因及解决方案：Plasma clean 通过高压射频电源产生等离子体，剥离部件表面污染物，安全有效，无需更换昂贵部件，大幅节约时间、降低成本。