High-Current Thermal Field Emission Electron Source

瞬景科技推出的超粗热场发射电子源，是针对高通量分析需求专门优化设计的肖特基场发射产品。该电子源在常规热场发射技术基础上，将针尖曲率半径精准控制在1000nm-2000nm区间，显著提升发射总面积与角电流承载能力，角电流密度可达400～1000μA/Sr。在1700～1850K稳定工作温度下，既能保持肖特基发射特有的高亮度、长寿命与低噪声特性，又可输出更高且更稳定的束流，特别适用于EBSD、EDS、WDS等对束流需求严苛的大电流分析场景，以及半导体缺陷检测、高通量纳米加工等应用。