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亮相2026原子级制造创新发展大会!瞬景科技携手上海交大,共推电子源国产化新征程
2026-06-17 11:35:23
重磅亮相:电子源“心脏”实现自主可控
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2026年6月,上海瞬景科技有限公司携手上海交通大学材料科学与工程学院上海市原子级智造材料与器件重点实验室,共同亮相2026原子级制造创新发展大会。

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电子源是量检测装备的 “心脏” ,长期以来被国外垄断,严重制约我国集成电路产业链的自主安全。

上海交通大学材料科学与工程学院攻克了针尖原子级修型、单原子层氧化锆涂覆等核心瓶颈,成功研制肖特基热场电子源并实现量产,目前已批量供给国产头部电镜和半导体设备厂商,真正实现了国内高端电子源的自主可控。该成果成功入选2025年度原子级制造领域十大重大事件之一。

上海瞬景科技有限公司作为上海交通大学材料科学与工程学院孵化的高科技企业,自2024年底成立以来,始终肩负着推动核心粒子束元器件产业化、解决国家反垄断使命的重任。本次展会,瞬景科技携多规格电子源、离子源等核心产品与实验室最新成果一体化展出,向业界展示了从基础研究→工程化→量产的全链条能力。

 

领导关怀:高度肯定电子源国产化突破

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展会期间,来自中国科学院、工业和信息化部高新技术司的多位领导,以及来自全国原子级制造领域的多位院士专家亲临瞬景科技与上海交大联合展位视察指导。领导们认真听取了肖特基热场电子源的研发与产业化汇报,仔细观看了电子源针尖微观形貌实物及量产产品展示,并勉励瞬景科技加快产能建设、加速规模化应用,为国产半导体量检测设备装上“中国心”。

 

现场直击:前沿技术引发热烈关注

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在展会现场,瞬景科技展位吸引了众多来自高校、科研院所及集成电路装备企业的专业观众。

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大会同期,上海交大与上海市原子级智造重点实验室专家在分会论坛作专题报告,系统介绍了原子级电子源技术进展。瞬景科技作为交大孵化的产业化主体,已建成电子源、离子源等产品量产线,具备批量交付能力,产品覆盖CD-SEM电子源、热场/冷场发射电子源、离子源及耗材等,并获国内头部厂商批量订单。

 

展望:深耕原子级制造,助力产业升

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本次参展,不仅是瞬景科技上海交通大学材料学院上海市原子级智造重点实验室联合创新成果的一次集中展示,更是我国原子级制造领域从“实验室”走向“产业化”的生动缩影。面向未来,瞬景科技将继续依托上海交大的深厚科研积淀,聚焦核心粒子束元器件的自主研发与规模化生产,为我国集成电路、航空航天、量子计算等战略性新兴产业提供 “中国心”。